Розвиток науково-технічної галузі нанотехнологій вимагає ефективної підготовки кадрів, для якої потрібне сучасне та якісне навчально-методичне забезпечення. Особливість нанотехнологій полягає у їхньому міждисциплінарному характері, що вимагає спеціальних методичних підходів та науково-навчального матеріалу. Важливим є вибір методів та методик вимірювань, які мають максимальну ефективність. Книга присвячена методам вимірювання за допомогою електронних мікроскопів, аналізу результатів вимірювань та формулюванню висновків щодо їхнього ефективного використання. Програма спрямована на вирішення завдань, що стоять перед фахівцями у сучасних умовах розробки та виробництва наносистем, пов'язана з формуванням та розвитком практичних навичок вимірювань, аналізу результатів вимірювань та формулювання висновків щодо їхнього ефективного використання. Включені методи вимірювань на РЕМ, які можуть бути використані для типових завдань у дослідженні та аналізі нанооб'єктів, що виникають під час виробництва елементної бази електронної апаратури.